Campbell, S. A. (1996). The science and engineering of microelectronic fabrication. Oxford University Press.
Kopierad till urklipp
Kopiering till urklipp misslyckades
Chicago-referens (17:e uppl.)
Campbell, Stephen A. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. New York: Oxford University Press, 1996.
Kopierad till urklipp
Kopiering till urklipp misslyckades
MLA-referens (9:e uppl.)
Campbell, Stephen A. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. Oxford University Press, 1996.
Kopierad till urklipp
Kopiering till urklipp misslyckades
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.