Citação APA (7ª ed.)
Campbell, S. A. (1996). The science and engineering of microelectronic fabrication. Oxford University Press.
Citação do estilo Chicago (17ª ed.)
Campbell, Stephen A. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. New York: Oxford University Press, 1996.
Citação MLA (9ª ed.)
Campbell, Stephen A. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. Oxford University Press, 1996.
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