VLSI fabrication principles: Silicon and gallium arsenide /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Ghandhi, Sorab K.
Format:	Buch
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	New Delhi : Wiley, c1994 [reprinted 2010].
Ausgabe:	2nd ed.
Schlagworte:	Silicon.
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