Fundamentals of semiconductor fabrication /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	May, Gary S.
Weitere Verfasser:	Sze, S. M.
Format:	Buch
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	New York : Wiley, c2006.
Schlagworte:	Semiconductors > Design and construction. Integrated circuits > Design and construction.
Online-Zugang:	Contributor biographical information Publisher description Table of contents
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